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極限真空度:可達 - 600mmHg(-80kPa),能快速建立穩定真空環境,滿足半導體晶片吸附、實驗室真空過濾等中低真空需求,較同系列 FV-30 型號真空度提升 100。
氣流量:穩定輸出 2.5 升 / 分鐘(0.088 立方英尺 / 分鐘),配合連續運轉模式,可長時間維持真空壓力穩定,避免批次檢測或生產中的壓力波動問題。
晶片適配性:專為大尺寸精密工件設計,可適配 8 寸及 12 寸半導體晶片的相關處理場景,覆蓋主流半導體生產的晶片規格。

典型行業應用場景全景展示
晶片吸附轉移時,其 - 80kPa 的真空度可穩定吸附 12 寸晶片,無油結構與 HEPA 過濾避免油污和微粒污染晶片表面的光刻層,保障后續刻蝕與薄膜沉積工藝的精度;
在晶圓測試的進出樣腔(L/L 腔)抽真空環節,FV-60 的緊湊設計可集成于測試設備內部,連續運轉能力確保腔室快速切換真空狀態,提升測試效率。
化學分析中,用于真空濃縮與蒸餾實驗,穩定的真空度可精確控制溶劑沸點,HEPA 過濾避免雜質影響分析結果;
生物技術研究中,搭配過濾裝置進行細胞培養液的真空過濾,無油污染確保生物樣本活性,低噪音運行不干擾實驗環境。
手術器械的真空輔助操作中,無油設計避免油污進入人體組織,靜電防護防止器械產生電火花;
醫療廢物處理系統中,其緊湊體積可集成于小型處理設備,連續運轉能力確保廢物抽吸過程不間斷,HEPA 過濾防止病菌擴散。

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